联系人：李经理（涂层部）
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ICS-800型真空涂层机是我司新开发的全新设计高阶机型，本机采用了新式的多弧点矩阵弧源设计，能有效提高靶材的利用率，同时产生面积广且均匀的高能量电浆，高离子化使得离子颗粒与工件表面附着更紧密，达到真正的纳米级涂层。
ICS-800技术特点 多弧源设计： ● 能使产生之电浆高度离子化 ● 能获得高含氮（N）量的涂层结构 ● 涂点附着良好（95°N↑）结构稳定表面更缜密 | 可控式电磁： ● 使电弧更均匀的分布于靶面上 ● 提高靶材利用率 |
简洁的人机对话界面： ● 一键启动，操作难度低 ● 故障自动跳停警报避免意外产生不良 ● 开放式可编辑编程，可自行设计编程 ● 自带图表化的生产日志便于生产管理 | 高规格的配备： ● 全机主机及配件全为世界知名大厂产品 ● 质量有保障并享有长期限免费保修 |
ICS-800规格：
腔体容积 | W800mm*H1050mm |
离子有效范围 | W600mm*H750mm |
系统大小 | L3226*W2505*H2113 (mm) |
腔体材质 | 全304不锈钢对称8边形腔体，腔璧双腔水冷设计 |
真空系统 | 前极机械泵*1Set，鲁式泵*1Set，高分子涡轮泵*1Set |
弧源 | 多点式阴极弧源*4Sets |
电源系统 | 电弧电源200A*4Pcs，BIAS直流电源20kw*1Pcs |
加热器 | 10kw*4 Sets |
电力需求 | 3Ø400V-160A |
可镀涂层 | TiN.AlTiN.AlTiSiN.CrN.ZrN DLC(选配) |
装载能力 | 铣刀 Ø4*50mm 2000 pcs / Ø12*75mm 600pcs |
制程时间 | 2μm厚度約4.5hrs |
