联系人：李经理（涂层部）
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STAR4系列PVD涂层设备是我司较早研发也较成熟的涂层机种，它经过多年的市场洗礼以及实机操验，上市至今全球销量已超过百台，证明是一台能符合市场需求且品质稳定可靠的涂层设备。其具有保修成本低、利用效能高及多种可扩充性的特点，如今永源科技的研发团队在STAR4的设计基础上做了全新的软件更新，赋予了STAR PLUS的型号，提供您一个更佳的选择。
STAR PLUS 技术特点
圆形阴极的设计：
● 圆形靶材制作工艺成熟取得容易
● 规格世界通用，靶材采购成本低
● 靶座设计轻简，更换靶材更轻松方便
6个独立阴极电弧设计：
● 成2个3面式对称布局
● 可实现多种复合涂层的生产
● 自由搭配涂层多样化
● 单面2独立弧源设计有效扩大离子沉积的范围
简洁的操作界面：
● 一键启动，方便操作
● 故障自动跳停，减低意外发生的损失
● 浅显易懂的操作界面，降低操作难度
● 可用网络实行远端监控生产及故障修复
国际水准的配件规格﹕
● 所有重要主件及零部件均采用国际知名大厂品质有保障并享有长期限的免费售后服务
● 多样化的品牌选配，有效利用您的成本达到效果较大化
STAR4 PLUS 技术规格：
腔体容积 | Ø850*1000mm |
离子有效范围 | Ø580*550mm |
系统大小 | L2950*W2050*H2100mm |
腔体材质 | 全304不锈钢腔体双层内水道冷却 |
真空系统 | 初级乾式泵*1Set，鲁式泵*1Set，涡轮分子泵*1Set |
弧源 | 电磁控制式6英寸圆形靶源*6Sets |
电源系统 | 直流电供应器200A*6，BIAS电源20KW*1 |
加热器 | 30kW(5*6sets) OMRON 温度传送器*2sets |
电力需求 | 3Ø400 50/60Hz 60Kw |
可镀涂层 | TiN.AlTiN.AlTiSiN.CrN.ZrN DLC(选配) |
装载能力 | 铣刀 Ø4*50mm 2050pcs / Ø10*75mm 620pcs |
制程时间 | 2μm 约需4.5hrs |
