真空PVD镀膜涂层工艺基本步骤

前处理工艺

褪膜、喷砂、抛光、钝化、清洗、装夹

镀膜工艺

抽真空、加热烘烤、漏率测试、轰击清洗、镀膜、冷却出炉

后处理工艺

清洗：确保镀膜前产品表面的清洁，越新鲜的表面，越能保证镀膜质量；

抽真空：将真空室内的残余气体抽走

加热烘烤：炉体和工件同时加热，加速残余气体的释放

压升率测试：测试炉体的漏气率和放气率

轰击清洗：去除工件表面的杂志，露出新鲜表面

镀膜：沉积膜层

冷却：避免工件氧化变色

为什么要进行冷却？

镀膜工艺完成后，真空室内温度高达500℃，如果不冷却就放气，没有被镀上膜的高温工件表面会因为与空气反应氧化变成蓝色。

冷却如何进行？

1. 高阀关闭，真空计关闭，真空室与泵组隔离；

2. 当操作人员按下N2 vent按钮，预先接好的氮气会通过N2充气阀充入真空室，当真空室内的压力达到压力开关预设的压力时，N2充气阀关闭。

3. 真空室内充入了大量N2，真空度很低，更加有利于热传导，所以降温速度比不充冷却N2时快很多，缩短冷却时间，提高生产效率，实际冷却时间可由原来的90分钟缩短为60分钟。

4. 由于氦气的热传导率更高，所以充入冷却氦气比氮气降温速度更快，但是成本也更高。压铸模具涂层

5. 国外设备快速冷却程序，通过冷却气体的循环冷却，能缩短冷却时间50%。

为什么要进行压升率测试？

真空环境条件是影响Z终涂层质量Z重要的因素。镀膜前，必须进行压升率测试，以保证真空环境条件满足镀膜标准。

怎样进行压升率测试？

在我们的自动镀膜工艺中，压升率测试是自动进行。

当真空室内真空度达到工艺设定的本底真空后，进入压升率测试步骤。

系统会自动关闭高阀，此时真空室与泵组隔离，真空室内压力会升高。在一定时间内（一般1分钟），如果压力不超过设定的报警值，系统会自动进行下一步程序，进入镀膜步骤。如果压力超过设定的报警值，系统会有报警提示，此时，操作人员应按照操作流程，再次进行抽真空和加热烘烤，然后重复进行压升率测试，直至压升率满足镀膜条件。

永元兴真空涂层科技座落于科技产业聚集的江苏省昆山市开发区内，是一间专门从事高精密PVD陶瓷镀膜代工的Coating Center。我公司主要能生产各类型的高精密及高耐磨性的硬质涂层，如DLC（类钻碳膜），TiN，CrN，AST，UNICO，SICO等涂层，广泛应用于各类精密刀工具，模具机加工，抗磨耗零件及生医器材等，并获得国内许多知名IT公司的认证。