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真空PVD镀膜涂层工艺基本步骤

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真空PVD镀膜涂层工艺基本步骤

发布日期:2018-07-02 作者: 点击:

前处理工艺

褪膜、喷砂、抛光、钝化、清洗、装夹

镀膜工艺

抽真空、加热烘烤、漏率测试、轰击清洗、镀膜、冷却出炉

后处理工艺

 清洗:确保镀膜前产品表面的清洁,越新鲜的表面,越能保证镀膜质量;

抽真空:将真空室内的残余气体抽走

加热烘烤:炉体和工件同时加热,加速残余气体的释放

压升率测试:测试炉体的漏气率和放气率

轰击清洗:去除工件表面的杂志,露出新鲜表面

镀膜:沉积膜层

冷却:避免工件氧化变色

为什么要进行冷却?

镀膜工艺完成后,真空室内温度高达500℃,如果不冷却就放气,没有被镀上膜的高温工件表面会因为与空气反应氧化变成蓝色。

 冷却如何进行?

 1. 高阀关闭,真空计关闭,真空室与泵组隔离;

2. 当操作人员按下N2 vent按钮,预先接好的氮气会通过N2充气阀充入真空室,当真空室内的压力达到压力开关预设的压力时,N2充气阀关闭。

3. 真空室内充入了大量N2,真空度很低,更加有利于热传导,所以降温速度比不充冷却N2时快很多,缩短冷却时间,提高生产效率,实际冷却时间可由原来的90分钟缩短为60分钟。

4. 由于氦气的热传导率更高,所以充入冷却氦气比氮气降温速度更快,但是成本也更高。压铸模具涂层

5. 国外设备快速冷却程序,通过冷却气体的循环冷却,能缩短冷却时间50%。

为什么要进行压升率测试?

真空环境条件是影响最终涂层质量最重要的因素。镀膜前,必须进行压升率测试,以保证真空环境条件满足镀膜标准。

 怎样进行压升率测试?

 在我们的自动镀膜工艺中,压升率测试是自动进行。

当真空室内真空度达到工艺设定的本底真空后,进入压升率测试步骤。

系统会自动关闭高阀,此时真空室与泵组隔离,真空室内压力会升高。在一定时间内(一般1分钟),如果压力不超过设定的报警值,系统会自动进行下一步程序,进入镀膜步骤。如果压力超过设定的报警值,系统会有报警提示,此时,操作人员应按照操作流程,再次进行抽真空和加热烘烤,然后重复进行压升率测试,直至压升率满足镀膜条件。

永元兴真空涂层科技座落于高新科技产业聚集的江苏省昆山市开发区内,是一间专门从事高精密PVD陶瓷镀膜代工的Coating Center。我公司主要能生产各类型的高精密及高耐磨性的硬质涂层,如DLC(类钻碳膜),TiN,CrN,AST,UNICO,SICO等专利涂层,广泛应用于各类精密刀工具,模具机加工,抗磨耗零件及生医器材等,并获得国内许多知名IT公司的认证。


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关键词:工具涂层,真空涂层,压铸模具涂层

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